压电式压力传感器:压电效应是压电传感器的主要工作原理,压电传感器不能用于静态测量,因为经过外力作用后的电荷,压力传感器工作原理,只有在回路具有无限大的输入阻抗时才得到保存。实际的情况不是这样的,所以这决定了压电传感器只能够测量动态的应力。
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3. 损坏压力损坏压力是指能够加在传感器上且不使传感器元件或传感器外壳损坏的压力。4. 线性度线性度是指在工作压力范围内,传感器输出与压力之间直线关系的偏离。5.压力迟滞为在室温下及工作压力范围内,从工作压力和工作压力趋近某一压力时,传感器输出之差。6.温度范围压力传感器的温度范围分为补偿温度范围和工作温度范围。补偿温度范围是由于施加了温度补偿,西藏压力传感器,精度进入额定范围内的温度范围。工作温度范围是保证压力传感器能正常工作的温度范围。技术参数 (量程15MPa-200MPa)参数 单位 技术指标 参数 单位 技术指标灵敏度 mV/V 1.0±0.05 灵敏度温度系数 ≤%F·S/10℃ ±0.03非线性 ≤%F·S ±0.02~±0.03 工作温度范围 ℃ -20℃~ 80℃滞后 ≤%F·S ±0.02~±0.03 输入电阻 Ω 400±10Ω重复性 ≤%F·S ±0.02~±0.03 输出电阻 Ω 350±5Ω蠕变 ≤%F·S/30min ±0.02 安全过载 ≤%F·S 150% F·S零点输出 ≤%F·S ±2 绝缘电阻 MΩ ≥5000MΩ(50VDC)零点温度系数 ≤%F·S/10℃ ±0.03 推荐激励电压 V 10V-15V
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压力传感器是使用为广泛的一种传感器。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主,以弹性元件的形变指示压力,但这种结构尺寸大、质量重,不能提供电学输出。随着半导体技术的发展,压力传感器的应用,半导体压力传感器也应运而生。其特点是体积小、质量轻、准确度高、温度特性好。特别是随着MEMS技术的发展,半导体传感器向着微型化发展,而且其功耗小、可靠性高。
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