我国对变压吸附制氧技术的开发起步较早，变压吸附制氧机，从1966年开始研究沸石分子筛分离空气制氧技术；20世纪70年代PSA分离空气制氧在钢铁、冶炼和玻璃窑等工业领域已经得到了广泛的应用。20多年来，由于技术力量分散，相互之间缺少联络，我国的变压吸附制氧技术发展缓慢，同国外的差距越来越大。20世纪70年代是我国PSA分离空气制氧技术发展的鼎盛时期，***有十几个单位相继开展了变压吸附制氧技术的实验研究，建立了数套工业试验设备。

早期开发的变压吸附制氧设备的共同点有以下几个方面：

（1）大多采用高于大气压吸附、常压解吸流程，吸附塔有两个到四个；

（2）空气进入吸附塔前，制氧装置，经过脱水预处理；

（3）设备可靠性差，不能连续稳定运行，导致大部分设备报废；

（4）技术、经济指标落后。

20世纪90年代是我国变压吸附制氧技术突飞猛进向前发展的时期，变压吸附制氧技术逐渐成熟。

变压吸附制氧机

制氧机，生产氮气（或液氮）和、-氦、-氙等混合气体的一种成套设备。在一般情况下，空气分离设备多用来生产氧气。

变压吸附真空解吸制氧机(简称VPSA制氧机)，制氧设备，即穿透大气压 的条件下，利用VPSA专用分子筛选择性吸附空气中的氮气、二氧化碳和水等杂质，在抽真空的条件下对分子筛进行解吸，从而循环制得纯度较高的氧气(90~94%)。VPSA能耗较低，设备越大其能耗越低。

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