发展历史

20世纪初发明的转鼓真空过滤器实现了过滤操作的连续化。此后，各种类型的连续过滤器相继出现。间歇操作的过滤器(例如板框压滤器等)因能实现自动化操作而得到发展，过滤面积越来越大。为得到含湿量低的滤渣，机械压榨的过滤器得到了发展。

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对于10000级和100000级洁净厂房。预过滤可选用F8过滤器，这样末端高i效过滤器的使用寿命一般可达五年。三大类空气滤（空气过滤器）因其保护区域不同，形成各自的结构和滤清效果，但有一点是相同的:流通介质都是空气，于是称呼都是“空气滤（空气过滤器）”，结果技术交流容易产生误会。在国外项目中和国内新项目中，F8过滤器是非均匀流洁净室常见的预过滤器。对于芯片厂100级，10级或更高的级别的洁净厂房，预过滤器的常见的效率级别为H10，许多新项目索性选用HEPA。在国内过去的洁净室空调系统设计中，过滤器常见配置为：粗效中效高i效。那时高i效过滤器的使用寿命仅为1--3年，差的也就几个月。可见，预过滤器的效率的高低决定末端过滤器使用的寿命。

过滤器选型原则：

1、进出口通径：原则上过滤器的进出口通径不应小于相配套的泵的进口通径，一般与进口管路口径一致。

2、公称压力：按照过滤管路可能出现的较高压力确定过滤器的压力等级。

3、孔目数的选择：主要考虑需拦截的杂质粒径，依据介质流程工艺要求而定。各种规格丝网可拦截的粒径尺寸查下表“滤网规格”。。。。