一、超纯水设备中为什么会有气泡

超纯水设备制取超纯水用的源水，无论是以自来水为源水，还是地下水为源水，或者以纯水为源水。源水中总会溶有气体。这些气体可以大致分为：可反应性气体，不反应性气体，消毒副产物。这些气体大多通过自然溶入和人工加入的方法溶于水中，显然，起纯水中是不能含有这些气体的，特别是可反应性气体和消毒副产物。

超纯水技术在半导体行业的应用

预处理部分预处理的作用是对原水进行粗加工.提供符合Ro进水要求的给水。其主要用来去除原水中的悬浮物、胶体，使SD≤4;去除游离氯等氧化性物质;去除部分有机物;降低LSI ,避免碳酸盐结垢。在超纯水制造工艺中，传统预处理方式是“多介质过滤器 活性炭过滤器”。而该半导体制造厂采用了“粗过滤器 超滤装置”作为超纯水系统的预处理部分，主要原因如下:(I)传统的预处理过程中SDI值不好控制，一般gt;5，不利于后续的一级反渗透系统的运行;而超滤装置的出水SDI值比较稳定(}1)，能够有效地保证一级反渗透系统的运行。(2)传统的预处理方式占地而积大，而“粗过滤器 超滤装置”占地而积小，节约了基建费用。(3)与传统的预处理方式在更换填料时需要大量的人力和物力相比，超滤装置的更换比较方便。(4)近年来，由于超滤技术的不断成熟，系统能够稳定安全地运行，而且超滤膜的价格也有了大幅度的降低，在一次性***和运行维护费用上跟传统的预处理方式相比差不多。

反渗透部分在半导体行业中，反渗透部分多采用双级反渗透工艺，以确保后续工艺的安全性。通过双级反渗透，可去除水中超过99%的悬浮物、胶体，98%以上的溶解盐，大部分的微生物、TOC和部分CO2。该半导体制造厂也采用双级反渗透工艺，同时将双级反渗透拆分成两个***的部分，这样就更加有效地保证了系统的连续运行，即使在更换反渗透膜或在线清洗反渗透膜时，也不会造成整个工厂大而积的停水，确保了关键部位的连续用水。该半导体厂采取在一级反渗透前增加SBS,MDC加药装置，保证了一级反渗透系统的安全运行;在一级反渗透和二级反渗透之间增加一套加碱装置，可提高二级反渗透系统的脱盐率。