光学微电子净化工程-洁净车间技术解决方案

　　光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、***空气、细1菌等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给于特别设计之密闭空间。

　　光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室，已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生***学、医1药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来，由于技术之创新发展，对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切，如超大型积体电路之研究制造，已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目，而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于领1先地位。而相对湿度控制精度高的干蒸汽加湿和电极(电热)式加湿因***较高则多用在相对湿度精度要求严格的恒温恒湿洁净室的空调系统加湿中。

光学微电子净化工程解决方案:

2、光学微电子行业净化工程设计方案分析之水冷柜机 增压风柜 高1效送风口

缺点：

　　A.需要小面积的机房。需要有冷却塔、冷却水泵的摆放位置;

　　B.空调机组与空调处理机组要集中布置;

　　C.造价较低。特点：这种方案可以是一次回风也可以是二次回风，具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。

千级无尘车间等级标准是什么？

无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气、***等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。使用机械包装产品可提高生产效率,降低劳动强度,适应大规模生产的需要，并满足清洁卫生的要求。

无尘车间可以分为以下几个级别：

1级 百级 千级 万级 十万级 30万级 ***

每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的***。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于***，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称级别中的千级。喷干蒸汽的加湿方法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽效率的问题，并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中，而其中有一部分变成凝结水排放出来。

千级无尘车间的标准，微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1k级别1)装配式无尘车间厂房的全部维修工厂内按统一模数及系列加工完成，适于批量生产，质量稳定，供货迅速。

　　2)无尘车间机动灵活，既适合在新建厂房配套安装，也适宜老无尘车间厂房的净化技术改造。维修结构也可随工艺要求任意组合，拆卸方便。

　　3)无尘车间需要辅助建筑面积较小，对土建筑装修要求低。

　　4)无尘车间气流***形式灵活、合理，可满足各种工作环境、不同洁净等级的需要。

　　1000级的概念是：每立方英尺内,大于等于0.5的灰尘颗粒不能超过1000颗

千级无尘车间室内空气参数要求

　　（1）温湿度要求：温度一般为24 2℃，相对湿度为55 5％。

　　（2）新风量大。由于这类车间内，人员比较多，可以根据以下数值应取下列的***、1大值：

非单向流洁净室总送风量的10-30％；补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量；保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。

　 　（3）送风量大。为了满足无尘车间内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量。