无尘车间的复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百1分之百覆盖使洁净度等级提高至十级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。

无尘车间的洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。

⑵洁净管道（Clean Tube）：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，南昌净化，将洁净度等级提至百级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为***适宜使用。***、食品业界及半导体业界均适用。

⑶并装局部无尘室（Clean Spot）：将无尘室等级万级~十万级之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为十~千级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

洁净工作台：等级Class 一~百级。

洁净工作棚：为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用***之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较g级之洁净空间，其等级为十~千级，高度在二点五米左右，覆盖面积约十平方以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。

万级洁净室亦称为无尘室或无尘车间。它是污染控制的基础。没有无尘车间，污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面，无尘车间被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、***空气、细1菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。对于多少钱一平方的说法，昆山清阳净化系统工程有限公司认为没有准确的定义。

主要是看你选择的无尘车间各类材料及设备的品牌的***吧，有一些是g端的，而且也有执行的标准不一样，车间净化工程，世界各个***都有他们自己的规定，根据美国联邦政1府的就是可以分为六级分为1、10、100、1000、10000、100000这六级，洁净工程公司，如果是无尘室的话，等级只是用于尘粒数目的叙述，但是就不代表颗粒的数目。如果假设尘粒的尺寸是0.5μm，那么，1级、10级、100级无尘室***1大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0.5μm，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。

至于那个检测标准也是有所不同的，他们有根据气流去检测的称为气流速度及其均匀度检测，也有系统或房间的风量检测、室内洁净度的检测、自净时间的检测、噪声的检测、气流流型检测、振动检测、温度和湿度检测以及总风量和新风量的检测。

无尘车间的百级洁净室垂直层流式方向要保持均一气流必须：（a）吹出面的风速不可有速度上的差异；（b）地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高（0.2m/s，0.7m/s）均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般无尘室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。

影响无尘车间的气流因素很多，净化工程公司，如制程[1][2][3]设备、人员、无尘室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。

一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于无尘车间空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部分的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。

无尘车间内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将使涡流现象减少至低；组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。

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