一、 了解空气

空气净化 ：去除空气中的污染物质，使空气洁净的行为。

洁净度 ：洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某一粒径的悬浮粒子的允许统计数。

洁净室 （区）：需要对尘粒及微生物含量进行控制的房间（区域）。其建筑结构、装备及其作用均具有减少对该房间（区域）内污染源的介入，产生和滞留的功能。

局部空气净化 ：仅使室内工作区域特定局部空间的空气含悬浮粒子浓度达到规定的空气洁净度级别，这种方式称局部空气净化。

单向流 ：沿着平行流线，以一定流速、单一通路、单一方向流动的气流，曾被称为层流。

非单向流 ：具有多个通路循环特性或气流方向不平行的，不满足单向流定义的气流，曾被称为乱流。

昆山清阳净化系统工程有限公司风管系列

不锈钢风管，英文名Steel Use Stainless Duct，英文缩写：SUS Duct，不锈钢风管可分为圆形和矩形两种。

可根据工程现场的不同要求，生产各种形状、各种规格型号及板材的成品风管。不锈钢风管主要材质有：SUS304、316、303、310、310S、301、302、304L316L 、321、201、202、902、904、317、430等。11、穿线管的选择穿线管应选择一定的大小(粗细)，不但要能使导线穿得进，而且要留有足够的空隙，使导线在通过大电流时产生的热量能散发掉。不锈钢风管表面性质主要有8K镜面板，彩色不锈钢板，不锈钢磨砂板，不锈钢拉丝板，不锈钢花纹板，不锈钢蚀刻板，钛金、雪花砂，2B板，BA板和工业中厚板。不锈钢风管成品因其优异的耐蚀性、耐热性、高强度等***性能，主要应用于多种气密性要求较高的工艺排气系统、溶剂排气系统、有机排气系统、废气排气系统及普通排气系统室外部分、湿热排气系统、排烟除尘系统等。

不锈钢风管特点

1、外形美观、内壁光滑、阻力小、气密性好、承压强度高，能适合非常复杂的排气工程。

2、可排除可燃及不可燃之化学腐蚀气体，而不需要另外装置洒水灭火设备。

3、由不锈钢制成，材质坚固，易保持完整性。

4、不锈钢风管ECTFE Coating内部涂层，具有高度抗化学酸碱性、耐冲击性、抗腐蚀与耐高温，其可适用温度150℉~300℉-66℃149℃之间。

5、使用电脑辅助设计而成，安装简易。可使用于无灭火装置环境，可节省安装灭火装置成本。

6、其造价比镀锌风管高，方便运输和适应现场的更改。

不锈钢风管使用范围

1、无尘室

2、半导体工业

3、印制电路板工业

4、配药工业

5、纸浆和造纸工业

6、食品加工工业

7、包括***、挥

8、石油化学工业

发性、腐蚀性化学制品的实验室、任何关于腐蚀性、***排气管运送和输出的工业或设施。

表1中有关气流速度和换气次数的推荐或参考值，应该说是经验的反映。如ISO/DIS 14664-4提出的数值皆明确适用于那类洁净室的；IEST的推荐值亦是被一些***机构认为仅适用于半导体工厂。2、无尘室空调净化系统的新风量大，一般情况下，新风量等于排风量与正在坟漏风量之和，因此生产工艺排风量大故新风量就很大，因此，新风的热湿处理耗能也就很大。由于具体情况变化较大，有的经验值可能已不适合当前的室内尘源控制措施及过滤器效率提高的情况。

2.2对有关推荐或参考值的讨论

近年来不少人通过实验认为这些推荐或参考值过于保守，其论点可归纳为：

（1）洁净室内气流的横向扩散只在甚低的流速下才有可能，单向流在合理的气流***下，流速0.05～0.1m/s就足够带走污染物，在此流速下亚微米粒子的扩散性能远低于对流性能；而大于0.36m/s的气流速度反而易千百万涡流，引起污染物的再卷入。因此，洁净室的理想自净时间Tr=体积/流率，到一定值后由于污染物的再卷入，再增大气流速度，实际的Tr并不再有明显的减少。单向流：沿着平行流线，以一定流速、单一通路、单一方向流动的气流，曾被称为层流。

（2）末级过滤器的效率对洁净度的影响是值得起注意的。有的气流速度/换气次数推荐或参考值对末级过滤器效率提高的因素往往没作考虑。风机过滤单元系统安装在无尘室天花板龙骨架上的直流FFU系统5、无尘室的必要性为了避免生产过程中出现污染和腐蚀，空气当中的细小微粒和微生物数量必须减到低，于是，无尘室技术现在成为了许多工业的基本要求。当前HEPA/ULPA的效率从99.67%、99.99%、99.999%、99.9995%直至8个9以上都可选择。其效率对气流速度的影响除以上已提及外，以下方面亦值得引起注意，在非单向流情况下，按衡释原理的洁净室内含尘浓度稳定公式可以得出：

（a）室内发尘量较高时，末级过滤器(参考www.bacclean.com)效率的变化对洁净度影响甚微，因此在这种情况下，过高的过滤效率是无必要的。

（b）室内发生尘量较低的情况下，采用低的气流速度下，末级过滤器效率的变速器变化，对洁净度的影响增大。

以上情况可以引用的图1a～1c看出。

此主题相关图片如下：

作图有关数据：

新风进末过滤器前的含尘浓度1.75×106个/m3

室内发生量:G1=350个/m3.min

G2=3500个/m3.min

G3=35000个/m3.min

G4=350000个/m3.min

新风量对于全空气量的比率 0.03

当前有的IC工厂其ISO5级（0.3μm）的洁净室，采用FFU系统,带ULPA（99.9995%,0.12μm），出口风速为0.38m/s，其满布率为25%，这样室内平均气流速度为0.095m/s，在各有关推荐或参考值的下限下。此洁净室的工艺加工在微环境内洁净室内的人员亦较少，可以认为洁净室内发生较低，这种情况下采用低的气流速度可能是可取的。三）洲上无尘室厂家严格各类设备、设施的维护管理，制定相应的操作规程，保证各类设备、设施按要求正常运转，包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具（工装夹具）等。

据报道，目前IEST对洁净室内气流速度推荐值的下限有所降低，如：

≤ISO5级：气流速度0.2～0.5m/s；

ISO6级或5级（非单向流）；换气次数＞200次/h；

ISO7级：换气次数20～200次/h;

ISO8级：换气次数2～20次/h;