洁净室内一定洁净度下气流速度的确定，随洁净室用途等具体情况而异，它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响，就工业洁净室而言，影响洁净度及选择气流速度的因素主要是：

（1）室内污染源：建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源，根据具体情况而异，变化很大；

（2）室内气流流型及分布：单向流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流；而非单向流要求充混合，避免死角及温度分层；

（3）自净时间（***时间）的控制要求：洁净室中事故释放或带入污染物或空气气流的中断或正常操作时的间歇性对流气流或人及设备的移动等都会造成洁净度的恶化，***到原来洁净度的自净时间决定于气流速度；对自净时间的控制要求取决于此时间框架内（恶化的洁净度下），对产品生产的质量及成品率影响的承受能力；8《医1药工业洁净室(区)沉降菌的测试方法》（GB/T16294-2010）。

（4）末级过滤器的效率：在一定的室内发尘量下，可采用较高1效率的过滤器以降低气流速度；为节能应考虑采用较高1效率的过滤器，并降低气流速度，或采用较低效率的过滤器并采用较高的气流速度，以求流量与阻力的乘积***xiao；

（5）经济性考虑：过大的气流速度造成***及运行费用的增加，合适的气流速度为以上诸因素合理的综合，过大往往不必要，亦不一定有效果；

（6）对洁净度要求低的洁净室，有时换气次数决定于室内排热的要求。

以上因素，皆很难量化，只能分析对比并估计。因此在工程应用中，对洁净室的气流速度往往参照有关规范、导则等的推荐或参考值，再按具体情况估计以上各影响因素进行综合考虑后确定。

气流速度用于单向流洁净室；非单向流洁净室宜用换气次数，因为其气流速度难于测准；5-55倍，而且送风风压也是其2-3倍，因此送风机的温升耗冷量很大。亦有用末级过滤满布率来反映的，可用于各种气流流型的洁净室，一般满布率100%相对于流速0.5m/s（100fpm），25%相对于0.125m/s（25fpm）。当前有关规范、导则等的推荐或参考值见表1。

FFU系统的应用

3.1当前FFU的情况

FFU在使用寿命及维护上已经实践证明无可担心。当前其改进主要是：

（1）采取均流及减少噪音的措施，噪音可在50db以内;

（2）电动机采用DC/EC（电子整流电机），以耗较原交流电机节约近50%，因为小风机所用小容量（功率lt;1/2HP）的交流电机，一般皆为电容分相式或隐极式，其效率仅40%左右，而DC/EC电机的效率可达75～80%；3）FFU的声压级噪声大多在57dB(A)～59dB(A)之间。在调速控制上可每台单独的以过滤器降1压进行控制以节约能耗，但目前***回收期尚长而未广泛采用，一般常用分组***或全部***。

（3）但FF瓣出口静压不能过大，一般采用出口风速成0.38m/s，此时其静压一般在250Pa以内。

3.2FFU回风系统与其他方式相比的优点

3.2.1一般评价

优点：

（1）灵活性大，便于改造；

（2）占用建筑物空间较少；

（3）洁净室内空气压力大于回风静压室，排除静压室对洁净室污染的可能性。

缺点：

（1）要求回风道全部阻力（包括多孔地板、格栅及风道）、干表冷器阻力及末级过滤器的阻力（在初阻力时），总共应控制在165Pa左右，以满足运行时***da阻力在250Pa以内。因此干表冷器的传热面积要较大，回风道尺寸亦要较大，多孔地板及格栅等的阻力要小，一般作法是：控制干表冷器阻力在50Pa左右，回风道阻力在15Pa以内，否则就需要再增设加压风机系统，这就是降低了FFU系统的综合优点。机电安装是个工程规模比较大的工作，有些大型企业迁移，一个工程就需要花近半年来实施，而且，对于安装的技术要求，也是相当大的。

（2）采用DC/EC电机后，单位风量的能耗可能比当前一般大型离心风机的集中系统为低，但已有研究指出，比采用改进后的大型轴流风机的回风系统的能耗还是要高。因此需要注意大型轴流风机的效率提高及其系统的阻力降低的因素。

（3）一般FFU系统由于单位风量的能耗较大，因此洁净室的冷负荷亦相应增加。

3.2.2具体情况下的评价

（1）FFU用于老建筑物改造成洁净室时，其综合经济性一般往往可取。

（2）洁净度要求严的洁净室，末级过滤器满布率100%时，对大的系统采用FFU，当前还是不经济的；对小系统有意义作具体比较。

（3）对洁净度要求不甚严的洁净室，末级过滤器满布率≤40%时对大系统综合经济性往往相差不多，但对IC工厂而言FFU系统的灵活性是重要的，因此当前IC工厂对过滤器满布率≤40%时，采用FFU系统已经普遍。

4.2AMC控制的实施情况

对线宽0.25μm的IC生产，一般已常在新风处理中设活性炭过滤器；有关关键工序以及工序间园片的传送及存放，有的生产厂采取了AMC控制，有的生产厂则并未进行控制，主要在于经济效果的衡量上，有关具体控制要求及措施报道甚少见，可能是由于保密的原因，但一点可以肯定，只能在局部环境内进行控制。传统系统中隧道式巴氏消毒法对产品进行各种高温处理，得到的产品在物理特性上发生变化。

为满足φ300mm园片，＜0.15mm线宽的加工要求，近年来对AMC控制，***在以下三方面开展工作：

（1）精que的测量技术及标准测试方法的建立。因为这是掌握AMC控制的基础，必须***；

（2）按今后IC的生产要求，生产线的设备采用微环境隔离，各设备间园片的传送采用前开式标准片盒（FOUPs）系统，对园片进行隔离。这个工厂生产几种面包、糖果、大豆豆腐、面条和几种传统的日本食品。因此，早已对设备、FOUPs系统及微环境所用的材料要求不释放及吸附有关悬浮分子污染物的问题以及对此污染物的去除措施进行研发，并不断改进中；

（3）控制AMC的过滤器。

近年来尤其是近2～3年来，对控制AMC过滤器的开发及推出有少进展；

A.不释放AMC物质的HEPA/ULPA；

a.低硼超细玻璃纤维过滤器，现已在亚洲及欧洲的IC厂使用较多；

b.多孔聚四氟乙稀（ePTFE）过滤器，为薄膜结构，价格比a要高出十倍左右。目前使用尚不多，正在开发下一代的。

B.化学过滤器