洁净室中的温湿度控制

　　洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为Class1~100。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产湿度范围为35—45%。

在太空中空气的清洁对于航天员的生命健康举足轻重。一般来说，飞行器舱内空间较小、密闭性***，航天员以及舱内的非金属材料和仪器设备又随时都在挥发各种***性气体，这就要求“环控生保”分系统必须采取有效措施，严格控制舱内的***气体，保障空气质量。在这些紊流中，由于风速较低，空气稀释程度较小，从而使得污染浓度较高。

中国航天员科研训练中心环控生保研究室主任董文平介绍说，此次神九任务航天员首、1次在天宫一号(微博)神舟九号组合体驻留十日之久，且组合体空间仅有60立方米，做到净化舱内空气，需要解决三方面的问题。一是净化航天员呼吸产生的二氧化碳。二氧化碳是座舱大气净化的***，浓度过高就会危及航天员的健康与安全。通常要求舱内二氧化碳分压不得大于1千帕，达到2千帕则应报警。二是微量***气体，是在密闭情况下，船舱内的非金属材料挥发出的，船舱密闭时间越久，***气体浓度越高。压力差的维持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。第三个是大气本身含有的颗粒物或者微生物。