净化技术的设备发展

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检漏方法常用的是DOP法检漏（即采用DOP溶剂作为尘源，与气溶胶光度计配合检漏），也可用尘埃粒子计数器扫描法来检漏（即采用大气尘作为尘源，与粒子计数器配合检漏）。由于粒子计数器读数为累积读数，不利于扫描，巡检速度慢；另外，丹东洁净室，在被测***过滤器上风侧，百级洁净室，往往大气尘浓度较低，需补充发烟才易发现泄漏，粒子计数器法检漏的的这些不足DOP法恰恰可以弥补，故国外广泛采用DOP法检漏。

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