4.2AMC控制的实施情况

对线宽0.25μm的IC生产，一般已常在新风处理中设活性炭过滤器；有关关键工序以及工序间园片的传送及存放，有的生产厂采取了AMC控制，有的生产厂则并未进行控制，主要在于经济效果的衡量上，有关具体控制要求及措施报道甚少见，可能是由于保密的原因，但一点可以肯定，只能在局部环境内进行控制。

为满足φ300mm园片，＜0.15mm线宽的加工要求，近年来对AMC控制，***在以下三方面开展工作：

（1）精que的测量技术及标准测试方法的建立。因为这是掌握AMC控制的基础，必须***；

（2）按今后IC的生产要求，生产线的设备采用微环境隔离，洁净室施工，各设备间园片的传送采用前开式标准片盒（FOUPs）系统，对园片进行隔离。因此，早已对设备、FOUPs系统及微环境所用的材料要求不释放及吸附有关悬浮分子污染物的问题以及对此污染物的去除措施进行研发，并不断改进中；

（3）控制AMC的过滤器。

近年来尤其是近2～3年来，对控制AMC过滤器的开发及推出有少进展；

A.不释放AMC物质的HEPA/ULPA；

a.低硼超细玻璃纤维过滤器，现已在亚洲及欧洲的IC厂使用较多；

b.多孔聚四氟乙稀（ePTFE）过滤器，为薄膜结构，价格比a要高出十倍左右。目前使用尚不多，正在开发下一代的。

B.化学过滤器

净化工程无尘车间涂装前地面处理

目的：清理混凝土地面，以保证环氧地坪的附着力。

1、对于有旧油漆地面，如油漆起壳，脱落或与环氧树脂起反应，则必须全部铲除或打磨掉，然后进行施工。如该油漆大部分附着力良好，不与环氧树脂起反应，则先铲除掉易脱落的部分漆皮，再用打磨机或手持砂纸将旧油漆表面打磨出粗糙作业面，以增强新漆的层间附着力。

2、对于打过蜡的地面，需先用除蜡水清洗或请***清洁公司除蜡。

3、对于掉在地面的防锈漆、乳胶漆、泡泡糖、沥青，必须全部铲除。

4、不太平整、有水泥疙瘩、浮水泥渣地面，先用金刚打磨机打磨，然后吸尘。

5、对于潮湿或部分有水有急需施工的地面要采取吸水擦干，太阳灯照、热风机吹或煤气火烟灯喷烤，使其加速地面干燥，以达到施工要求。

6、机械面处理包括金刚打磨机及全自动钢丸喷砂机。

7、在涂装前对原地面处理后暴露出来的混凝土缺陷，如凹地、孔洞、蜂窝结构的麻面，可采用环氧砂浆点批，面批修补。

二、底漆涂装

目的：封闭气孔，万级洁净室，增强结合。

1、修补区域干后方可进行底涂施工；

2、用纸胶带或塑料薄膜对涂装区非涂装部位进行保护（如墙角、柱子、固定设备等）。

3、按照底漆的使用比例，将一定量的组份B倒入组份A中，用手提电动搅拌机搅拌，搅拌时间为2-3分钟左右，然后用短毛滚筒大面积滚涂，局部的墙角、接口处可用短毛滚筒或刷子涂，根据施工现场温度确定固化时间（一般需要8-24小时）。待底漆完全固化后，方可进行其它工序。底涂施工要求滚涂均匀，滁州洁净室，无漏底。

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