无尘车间净化技术的设备发展

　　美国ASYST公司、德国MW公司发展的使用隔离技术的亚微米生产微环境系统设备和技术在近几年中得到广泛采用。该项新的无尘车间洁净技术在100级洁净度的洁净厂房中，采用工艺设备局部使用隔离技术的微环境，净化车间工程，把***比例压缩到高ji别的微环境，无尘车间消除了操作者与工艺设备运行的二次污染源产生对集成电路成品率和可靠性的影响作用。

　　空气净化工程***净化技术的“指导者”

　　空气净化工程的工作原理是：用风机将空气抽入机器，净化，通过内置的滤网过滤空气，主要能够起到过滤粉尘、异味、有***体和杀灭部分细1菌的作用。滤网又分：集尘滤网、去甲醛滤网、除臭滤网、HEPA滤网等。其中成本比较高的就是HEPA滤网，洁净工程公司，它能起到分解有***体和杀菌作用，特别是***二次污染。这类产品的特点是风机功能以及滤网的质量决定净化效果，机器的放置以及室内布局影响净化是否完全，室内净化效果不均衡，也难以完全，滤网更换费用较高。

净化技术的设备发展

　　在洁净室建设规模和技术水平上，我国与******差距更大。日本清水建设公司一家，1982年到1987年期间承建的洁净室面积达71.8万平方米，而我国目前一年承建的洁净室总面积还不到10万平方米，但八五期间有较大发展，1993年承建洁净室总面积已接近15万平方米。美国的洁净室建设规模更大，1998年统计已达188.5万平方米。在洁净工程技术水平上，80年代末期，净化室工程，国外已大量建成0.1微米级的超净室，1987年日本三洋新泻工场建成十级洁净厂房3000平方米，NIT原木则建成了四个1000平方米控制0.1微米尘埃的千级厂房，换气次数高达300次/分。

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