FE3000反射式膜厚量测仪原理为:利用单色仪和氙灯的组合可实现任意波段的激发光并以此来照射荧光材料样品,FE,再以光谱仪对产生的发光光谱进行测试并对其荧光材料特性做出评价。本系统采用了具有高灵敏度、高稳定的本公司的光谱仪对光谱进行测量。
关于冷却水的更换没有特定的时间要求,可目视,发现水有污垢时请更换冷却水。更换时请用自来水或是软水(不可使用纯水,FE3000膜厚仪,如使用纯水,FE膜厚仪,会和空气中的CO2结合形成酸性环境,从而导致冷却装置内部遭到腐蚀)。
产品特点非接触式、不***样品的光干涉式膜厚计。高精度、高再现性量测紫外到近红外波长反射率光谱,分析多层薄膜厚度、光学常数(n:折射率、k:消光系数)。
应用范围■ FPD
?LCD、TFT、OLED(有机EL)
■ 半导体、复合半导体
?矽半导体、半导体雷射、强诱电、介电常数材料
■ 资料储存
?DVD、磁头薄膜、磁性材料
■ 光学材料
?滤光片、抗反射膜
■ 平面显示器
?液晶显示器、薄膜电晶体、OLED
■ 薄膜
?AR膜
■ 其它
?建筑用材料
本仪器是一套使用积分半球对薄膜状样品或粉状物样品进行量子效率测试的系统。
产品特点非接触式、不***样品的光干涉式膜厚计。高精度、高再现性量测紫外到近红外波长反射率光谱,分析多层薄膜厚度、光学常数(n:折射率、k:消光系数)。宽阔的波长量测范围。(190nm~1100nm)薄膜到厚膜的膜厚量测范围。(1nm~250μm)对应显微镜下的微距量测口径。
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