FE3000膜厚仪-FE-苏州大塚电子公司
作者:大塚电子2019/12/28 11:15:47

FE3000反射式膜厚量测仪原理为:利用单色仪和氙灯的组合可实现任意波段的激发光并以此来照射荧光材料样品,再以光谱仪对产生的发光光谱进行测试并对其荧光材料特性做出评价。


1)高精度石英材质液体比色皿,光学透过率大于98%,FE3000膜厚仪,全波段无荧光反应,用于液体样品测试(3个)。尺寸:12.5mm*12.5mm*140mm

2)具有专用的液体容器***装置,FE,可实现入射光垂直入射到容器表面。



原理为:利用单色仪和氙灯的组合可实现任意波段的激发光并以此来照射荧光材料样品,再以光谱仪对产生的发光光谱进行测试并对其荧光材料特性做出评价。本系统采用了具有高灵敏度、高稳定的本公司的光谱仪对光谱进行测量。

产品特点非接触式、不***样品的光干涉式膜厚计。高精度、高再现性量测紫外到近红外波长反射率光谱,分析多层薄膜厚度、光学常数(n:折射率、k:消光系数)。


应用范围■ FPD

?LCD、TFT、OLED(有机EL)

■ 半导体、复合半导体

?矽半导体、半导体雷射、强诱电、介电常数材料

■ 资料储存

?DVD、磁头薄膜、磁性材料

■ 光学材料

?滤光片、抗反射膜

■ 平面显示器

?液晶显示器、薄膜电晶体、OLED

■ 薄膜

?AR膜

■ 其它

?建筑用材料

量测范围玻璃上的二氧化钛膜厚、膜质分析


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