三维形貌测量系统

可用于物体表面三维形貌和变形测量。由于该系统既可配备10倍变焦远距离显微成像镜头，也可配备普通变焦镜头，使得该系统能同时满足细观及宏观的测量要求。不仅可用于微电子、生物、微机械等微细结构的形貌及变形测量，也可用于混凝土结构、岩土试样等大型构件表面形貌和变形测量。系统配有专用的相移条纹图像处理软件，使得系统测量精度明显提高，并且使用方便、操作简单。

光学影像测量仪检测是一种常见测量技术，通过提供了量化的图像测量方式，获得测量数据，从而对零部件公差尺寸进行把控，是机械、电子制造业，计量测试所广泛使用的一种多用途计量仪器。

影像测量仪的误差来源有哪些呢？ （1）光栅尺记数的偏差; （2）操作台挪动时存有的平行度、角摆产生的偏差; （3）操作台两精l确测量轴平整度带的偏差; （4）摄像镜头直线光轴与操作台不垂直带的偏差; （5）精l确测量工作温度转变产生的偏差; （6）灯源照明灯具标准的转变产生的自动对焦和指向偏差。

MarSurf CM mobile提供多种不同配置以便客户选择适合自身测试要求的配置：便携式测量系统可以放置于专用保护箱中进行中远距离运输，另外还可以选配滚轮式工作站以便在工厂车间灵活移动。MarSurf CM mobile提供多孔位物镜转换器以便于客户对不同区域大小和属性的表面进行测量。大量的可选软硬件配置使mobile能够应用于不同领域的表面测量

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