气体管路施工技术要求及验收标准？

施工要求：

1、所有不锈钢管道两端用塑料盖密封，外部有塑料套密封，在进入施工现场后，安装前，方可将塑料套拆封，并除去塑料盖。

2、管道铺设时，应注意平直，弯管处采用专用弯管器，不得徒手弯曲，切断管道时，用专用切管器操作，严禁用锯子锯断管道。管道切断后，应用专用工具处理断口，严禁用普通锉刀处理。

3、在管道的行进路线中，每隔l米应设置一组管夹，如遇特殊建筑物结构，应酌情考虑。

4、管道穿墙及穿地板时，应设置套管，套管与管道之间的空隙，应采用不可燃烧的材料填充。

5、管道采用全自动焊机焊接方式衔接。

6、所有螺纹连接处应采用密封带密封。

7、所有系统部件安装完毕后，应用高纯氮气进行三遍以上的大流量吹扫。

8、在整个施工过程中，应注意施工安全。

(4)验收说明

施工结束后，用高纯氮气进行检漏保压测试，测试压力应为工作压力的1.25倍。试压规定时间后，压力表读数变化小于0.5%(根据GB金属工业管道施工及验收标准)。

以上管道、各种阀件品牌、材质，连接方式及其相关工艺流程等需严格按标书要求响应，须符合***标准。

实验室气体管道供气系统

实验室气路安装指实验室气体工程，即从气瓶至仪器终端之间连接管线，JHP一般有气体切换装置-减压装置-阀门-管线-过滤器-报警器-终端箱-调节阀等部分组成。目前主流气路编排主要为实验室集中供气系统。

公司提供全i方位的实验室气体管道供气系统，满足不同实验的用气要求与安全。采用汇流排供气设备，进行双瓶带手动、半自动、全自动切换功能，带有低压报警装置，实时监控气体压力，浓度侦测报警和排风，保证客户正常用气需求和生命财产安全。

各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲，气体品种多，******气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了***成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。气体管道设计规范（1）氢气、氧气和煤气管道以及引入实验室的各种气体管道支管宜明敷。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。

气路系统百科知识

一、气瓶间。

　　1、钢瓶间的设计宜设在中心化验室的主入口侧，并应采取遮阳防晒措施，当钢瓶间与建筑物为一体时，隔墙应为钢筋混凝土防爆墙。

　　2、通风良好，并具有足够的泄爆面积，室内地面应有防火花，防静电措施;

　　3、可燃气体钢瓶(H2，C2H2)与助燃气体钢瓶(O2)应隔开布置;

　　4、还应设立***报警系统。

　　二、色谱室。

　　1、中心化验室的管道应统筹规划、集中布置，以便于安装、操作和检修为布置原则;

　　2、引入中心化验室的工艺管道总管应设切断阀，并根据需要设置压力表、温度计、流量计、过滤器和减压阀等。阀门或仪表宜设置在便于观察和检修的位置;

　　3、可燃易i爆气体如氢气、乙i炔、氧气等宜明线铺设;

　　4、管道宜集中布置并沿墙明设，且方便安装及检修;

　　5、使用钢瓶气管道的设备台应离墙布置，留出的维修空间不宜小于600mm;

　　6、氢气管道宜采用焊接连接，不应采用螺纹连接和使用闸阀。