各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(PN2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(N2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(PH2)氢气(H2)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(Ar)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氦气(He)：系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统：必要的还需做双套管：外管酸洗钝化(AP)处理，内管电解抛光(EP)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲，气体品种多，******气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用大大增加了***成本，实验室气体管道安装哪家好，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统，山东实验室气体管道安装，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，安徽实验室气体管道安装，并对房间有防爆要求，工作的安全性大大提高。

特气管道系统 Special Gas Pipeline System 是指SiH4，NF3，Cl2 等一些具有高***性，应确保安全性的特气。公司提供从供气系统；排气处理、监视系统的综合管理系统；建立以安全为第i一的特气管理输送系统。提供设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务等整体解决方案。

特种气体是光电子、微电子等领域，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率，实验室气体管道安装，并从根本上制约着电路和器件的精i确性和准确性。

工程项目覆盖半导体、集成电路、平板显示、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医i药、各类实验室、研究所、标准检测等高科技行业；为客户提供高纯介质输送系统***解决方案；逐步成为行业领i先的整体系统供应商。

实验室气路改造管道材质及作用

　　高纯度气体管一般根据循环介质的工艺要求由薄壁不锈钢管制成。

　　主要有铬、镍和钼合金元素。

　　a、铬的存在提高了不锈钢在氧化介质中的耐腐蚀性，形成富铬氧化膜;

　　b、钼的存在提高了不锈钢在非氧化介质中的耐腐蚀性

　　c、镍是奥氏体的形成元素，镍的存在不仅提高了钢的耐蚀性，而且改善了钢的工艺性能。

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