由单质氟与硫直接化合而得。反应也会生成硫的其他氟化物如十氟化二硫，可通过加热使其歧化后，再用氢i氧化钠处理除去剩余的四氟i化硫而纯化。

六氟化硫具有良好的电气绝缘性能及优异的灭弧性能。其耐电强度为同一压力下氮气的2.5倍，击穿电压是空气的2.5倍，灭弧能力是空气的100倍，是一种优于空气和油之间的新一代超高压绝缘介质材料。六氟化硫以其良好的绝缘性能和灭弧性能，如:断路器、高压变压器、气封闭组合电容器、高压传输线、互感器等。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，被大量应用于微电子技术领域。冷冻工业作为制冷剂，制冷范围可在-45℃~0℃之间。电气工业利用其很高介电强度和良好的灭电弧性能，用作高压开关、大容量变压器、高压电缆和气体的绝缘材料。

在对动物(雌性大、小鼠)进行分组急性静式染毒试验、亚急性静式染毒试验中,分别将白鼠放在不同浓度的 六氟化硫(SF6) 新气体或(与电弧接触过的)开断气的气体分组箱里。其结果是急性静式染毒试验未发现异常,而亚急性静式染毒试验则发现一只大鼠的肺毛细血i管在电子显微镜下有轻度亚微结构改变。是否就是由 六氟化硫(SF6) 气体引起的,因试验的动物数量有限,还难以定论。

气体毒性来源

六氟化硫气体的毒性主要来自5个方面。

1、电器设备内的六氟化硫气体在高温电弧发生作用时而产生的某些***产物。

2、六氟化硫产品不纯，出厂时含高毒性的低氟化硫、氟i化氢等有***体。

3、电器设备内的六氟化硫气体及分解物与电极(Cu-W合金)及金属材料(AL、Cu)反应而生成某些***产物。

4、电器设备内的六氟化硫气体分解物与其内的水分发生化学反应而生成某些***产物。

5、电器设备内的六氟化硫气体及分解物与绝缘材料反应而生成某些***产物。如与含有硅成分的环氧酚醛玻璃丝布板(棒、管)等绝缘件;或以石英砂、玻璃作填料的环氧树脂浇注件、模压件以及瓷瓶、硅橡胶、硅脂等起化学作用，生成SiF4、Si(CH3)2F2等产物。