这比用紊流来描述乱流洁净室更确切、更全。紊流主要决定于雷诺数,也就是主要受流速的影响,但是如果采用一个过滤器顶送的送风形式,则即使流速极低,也要产生上述各种结果,这就因为它是一个突变流和非均匀流。因此这种情况下不仅有流层之间因紊流流动而发生的掺混,而且还有全室范围内的大的回流、旋涡所发生的掺混。这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。
作用
控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。此空间的设计施工过程即可称为净化工程。
3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机 FFU送风口
这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内,并用彩钢围护起来,在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。
优点:A.不需要占用机房面积,布置很灵活的;B.可以满足空气的洁净度;C.造价少。如此类无尘车间初***约需要40万;D.送风均匀度好。
缺点:A.温湿度控制较差;B.可以满足空气的洁净度;C.FFU的维修频率高。
5、电话和火警设备
在洁净厂房设置电话,对讲电话,可以减少人员在洁净区走动,减少发尘量,也可在万一发生火灾时及时与外部联系,也为正常工作联系创造条件。此外,还应设置火灾报警系统,防止火情不易被外部发现而造成重大经济损失。
6、多机冷水机组更灵活
冷水机组如果要求较大的制冷量,不宜选用单机,宜采用多机制,电机宜用变频调速,以降低起动功率。多机可以灵活使用,不至于出现“大马拉小车”的浪费能源现象
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