层流式空气气流运动成一均匀之直线型,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用,一般其洁净室等级为Class1~100。
其型式可分为二种:(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,灰随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。
缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
乱流式缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
4、自控装置保证全程调节
目前,有的生产厂家采用手动方式进行控制风量和风压的调节,但由于控制风量和风压的调节阀均在技术隔层,而且吊顶也都是彩钢板的软吊顶,基本上都是在安装调试时调好,此后,大都没再调节过,实际上也无法调节。为确保洁净厂房的正常生产和工作,应设置一套较完整的自控装置,实现以下功能:洁净室空气洁净度、温湿度、压差监控、风阀调节;但在一个操作间,机器以及机器周围走动的人员,会对气流形成障碍。高纯气体、纯水和循环冷却水的温度、压力、流量的检测;气体纯度、纯水水质的监测等。
净化空调系统的空气过滤器随运行时间的增加,阻力增大,为保持风量则需调节系统中的风阀。在统调试时系统启动时,为使风机空载启动,则需将风机出口处风阀关闭,风机启动后,因风阀上承受很压力,开启十分困难。采用空气过滤器前后压差的变化控制风机的变频调速装置后,送风量的调节会变十分容易,送风压力稳定。而喷蒸汽、喷干蒸汽和电极(电热)加湿是向空调送风中喷蒸汽,其加湿方法属等温加湿过程。
这些监控装置可设计成单个系统的测量,控制系统,也可设计成集散式计算机控制和管理系统。净化空调系统在风机停转无风或超温时,电加热器会继续送电加热,造成设备损坏甚至发生火灾,为避免这种情况的出现,应设置无风以及超温断电的保护。
5、电话和火警设备
在洁净厂房设置电话,对讲电话,可以减少人员在洁净区走动,减少发尘量,也可在万一发生火灾时及时与外部联系,也为正常工作联系创造条件。此外,还应设置火灾报警系统,防止火情不易被外部发现而造成重大经济损失。
6、多机冷水机组更灵活
冷水机组如果要求较大的制冷量,不宜选用单机,宜采用多机制,电机宜用变频调速,以降低起动功率。多机可以灵活使用,不至于出现“大马拉小车”的浪费能源现象
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