2、光学微电子行业净化工程设计方案分析之水冷柜机 增压风柜 送风口与前种方案比较，这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积，水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内，增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。

优点：A.空气处理效果较好的，处理过后的空气在送风过程中被污染程度低。送风的温度、湿度控制效果可以达到较好的控制。主要在空气处理机组(增压风柜)里进行控制;B.布置灵活。自带冷源;C.大小厂房、新旧厂房都适用;D.维修频率较低;E.车间噪音低。

缺点：A.需要小面积的机房。需要有冷却塔 [1] 、冷却水泵的摆放位置;B.空调机组与空调处理机组要集中布置;C.造价较低。

特点：这种方案可以是一次回风也可以是二次回风，具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。

洁净室中的气流速度规定

这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度，在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。对于乱流洁净室 由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度，所以主要用换气次数这一概念，而不直接用速度的概念，工业无尘室，不过对室内气流速度也有如下要求；(1)送风口出口气流速度不宜太大，和单纯空调房间相比，要求速度衰减更快，扩散角度更大。

(2)吹过水平面的气流速度（例如侧送时回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返气流，无尘室设计，而造成再污染，马鞍山无尘室，这一速度一般不宜大干0.2m/s。

3、依据气候条件选空调箱

关于空调箱的选择，应考虑所处的气候环境。如在冬季气温低、空气含尘量大的北方地区，则应在通用的空调机组上增设新风预热段，采用淋水式空气处理方式，使其既对空气洗尘又使其产生热温交换达到所要求的温、湿度。而在气候湿润，空气含尘浓度较低的南方地区，食品无尘室，则冬季也无需对新风预热，对空气的过滤及温、湿度的调节则采用初效过滤，表冷面调节温湿度，也可加强温减湿工序，再经中效过滤和终端或亚过滤。空调箱配套风机一般建议采用变频风机，这不仅节能，还可灵活调节风量风压。

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