3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机 FFU送风口

这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来，无尘室，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。

优点：A.不需要占用机房面积，布置很灵活的;B.可以满足空气的洁净度;C.造价少。如此类无尘车间初***约需要40万;D.送风均匀度好。

缺点：A.温湿度控制较差;B.可以满足空气的洁净度;C.FFU的维修频率高。

严格控制人员流动物流

洁净车间应设专用的人员流动、物流通道。人员应按规定的净化程序进入，并应严格控制人数。对于物料可在除去浮尘后拆去外包通过缓冲间或传递柜送入。不同洁净等级的洁净区物品则通过传递窗传送。中间站宜设在中心位置，无尘室净化工程，以便缩短运送距离。洁净区内不设与本岗位无关的管道。充分利用上下或周围的技术夹层，所有公用管道、工艺管道的主干管均在技术夹层安装。穿越地面、隔墙的管道尽可能靠近使用点并敷设套管，套管内的管道不应有焊缝，无尘室施工，管道与套管之间应有可叉的密封措施。

净化工程是一个应用行业非常广泛的基础性配套产业，（21世纪）在电子信息、半导体、光电子、精密制造、医护卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等众多行业均有应用，并根据行业的精密与无尘要求，等级差别也较大。目前级别相当高的当属航天航空的航空仓，基本是属于1级，属于特殊领域，面积相对较小。净化车间另外对级别要求较高的是生化实验室和高精纳米材料生产车间，物联网芯片的发展将是未来需求的一大方向。随着电子元器件向微小化方向发展，液晶面板已经升级至第八代，行业需求非常巨大。



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