复合式(Mixed Type)

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，厂房洁净装修工程，可提供局部超洁净之空气。

(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。

(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。***、食品业界及半导体业界均适用。

(3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10，000~100，洁净厂房建设，000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，洁净厂房施工，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

净化方法

1.水洗法

利用虹吸以及离心原理，将混合于水的净化剂通过虹吸原理吸入其电机底座的同轴离心涡轮下部的吸管中，通过交流罩极电机高速旋转，再利用离心原理，江苏洁净厂房，将混合于水的净化剂喷在瓶胆内形成一层水膜，将空气中的灰尘以及***吸入水中，同时将经过净化的空气吹入室内，快速有效地去除室内的***生物、灰尘、烟味、臭味、病毒等，并产生大量的新鲜氧气。

2.负离子法

羟基负离子与空气中漂浮的***气体接触后，能还原来自大气的污染物质、氮氧化物、烟等产生的活性氧（氧自由基）、减少过多活性氧对***的危害；中和带正电的空气飘尘无电荷后沉降，使空气得到净化。

3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机 FFU送风口

这是简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。

优点：A.不需要占用机房面积，布置很灵活的;B.可以满足空气的洁净度;C.造价少。如此类无尘车间初***约需要40万;D.送风均匀度好。

缺点：A.温湿度控制较差;B.可以满足空气的洁净度;C.FFU的维修频率高。

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