节能原则：无尘车间里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调（HVAC）、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。率的设计和率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本，会造成工厂的运行性能降低和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中。

不同级别的层流***室其空气洁净度标准不同，例如国内标准I级层流***室的标准为洁净度5级，每立方尺空气中≥0.5μm的尘粒数，≤100颗或每升空气中≤3.5 颗。II级层流***室的标准为洁净度6级，每立方尺空气中≥0.5μm的尘粒数，≤1000颗或每升空气中≤35颗。III级层流***室的标准为洁净度7级，洁净厂房设计，每立方尺空气中≥0.5μm的尘粒数，洁净厂房建设，≤10000颗或每升空气中≤352颗。依次类推。

不同级别的层流系统，其控制空间环境中的空气置换率也不同，洁净度级别越高，置换率越快，反之亦然。层流***室墙壁应用具有抑菌作用的特殊涂料粉刷，光线明亮，色彩柔和且不须用水清洁冲洗。

洁净室的温度调节都是由***空调将空气冷却后再送到洁净室。种方法需要大量风管 进行长距离送风，沿途阻力式损失和温度损失造成很大的能源损耗。此外，黄山洁净厂房，也有将空调机装 在专用回风直管内， 再由风机和风管将空气送到送风口的方法， 这种方法虽然省去了中 央空调，便是仍然需要专用的风机和风管，结构复杂，成本高，占用有限的空间，不便于维 修和操作空调机，洁净厂房标准， 风机和风管所造成的能源损失也较大。 本方案采用冷风管直接送风的方式， 将空调机产生的冷风直接送到洁净空气主流区，冷风的行程和较短，冷风量集中，不须专 用管阀件，节约了***，安装也更简单。更重要的是减少了这些管阀件的阻力损失和温度损 失，达到提率节约能源的目的。



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