4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点

A、无尘车间洁净度:LCD制屏的简略流程为：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。在本设计里是指末端工艺的一些无尘车间，其净化洁净度一般为千级或万级或十万级。防静电洁净室中由于静电引起的的事故屡有发生，因此洁净室的防静电能力如何已成为评价其质量的一个不可忽视的方面。背光屏类无尘车间主要是这类产品的冲压车间、组装等无尘车间，其洁净度一般为万级或十万级。

B、室内空气参数要求 ：(1)温湿度要求：温度一般为24 2℃，相对湿度为55 5%。(2)新风量大。由于这类车间内，人员比较多，可以根据以下数值应取下列的高值：非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜 空气量≥40m3/h。2．静电放电引起的放电电流，可导致诸如半导体元件等***和误动作，例如将50块P-MOS电路放在塑料袋内，摇晃数次后，与非门栅极严重击穿者计39块，失效率竞达78%，这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏。(3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量，就300平方米的车间，吊顶高度为2.5米的，如果是万级，送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数，是≥25次/h);如果是十万级，送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数，是≥15次/h)。

3、依据气候条件选空调箱

关于空调箱的选择，应考虑所处的气候环境。如在冬季气温低、空气含尘量大的北方地区，则应在通用的空调机组上增设新风预热段，采用淋水式空气处理方式，使其既对空气洗尘又使其产生热温交换达到所要求的温、湿度。而在气候湿润，空气含尘浓度较低的南方地区，则冬季也无需对新风预热，对空气的过滤及温、湿度的调节则采用初效过滤，表冷面调节温湿度，也可加强温减湿工序，再经中效过滤和终端或亚过滤。人员和工艺所产生的悬浮污染可立即被这种空气清除掉，而紊流通风系统采用的是混合与稀释原理。空调箱配套风机一般建议采用变频风机，这不仅节能，还可灵活调节风量风压。

参与洁净室项目的朋友可能不了解净化项目的组成系统。 目前尚不清楚哪种系统组件主要用于净化工程系统。 以下简要介绍净化工程系统的主要组成部分。是直接将分体空调柜机布置于车间内，并用彩钢围护起来，在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网)。 通过本文的介绍，我希望我的朋友能够理解净化项目。净化工程的主要组成部分有六个部分：地面系统，风道系统，自动控制系统，电气系统，给排水系统和空气过滤系统。

自动控制系统：

包括温度控制，温度控制，风量风压控制，开启顺序和时间控制;电气系统：照明，电力和弱电，包括净化灯，插座，电气柜，线路，监控，电话等强弱系统;给排水系统：供水，排水管道，设施和控制装置;地面系统：环氧树脂通常用于清洁地面。

提高设备水平

设备的材质、加工精度、密闭程度以及管理制度都与交叉污染有关。所以洁净车间除了合理布局外，提高设备的自动化水平和组成联动的生产线，以减少操作人员，降低人员的活动频率，是防止交叉污染的必要措施。

分设洁净车间空调净化系统

洁净室的空调净化系统应根据不同的洁净度等级分设。对β-内酰胺类、避孕***、强毒微生物等的工作室，应设置空调净化系统，其排风口应安装过滤设备，以将这些药的污染降至低限度。对不同洁净度等级的洁净室，产生粉尘和***气体的洁净车间，被排介质毒性大的、，应单独设局部排风系统。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。洁净车间的排风口应有防倒灌装置。送风、回风和排风的启闭应有连锁装置。