在洁净室内静电

导致的事故有以下几方面；

1．静电电引起的静电的电力击打，引起人的不安全和恐惧感，并可造成二次伤害(例如人因受电力击打而摔倒，由摔倒又致伤)；

2．静电放电引起的放电电流，可导致诸如半导体元件等***和误动作，例如将50块P- MOS电路放在塑料袋内，摇晃数次后，与非门栅极严重击穿者计39块，失效率竞达78%，这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏；

3．静电放电产生的电磁波可导致电子仪器和装置的杂音和误动作；

4．静电放电的发光可导致照相肢片等感光***；

5．静电的力学现象可导致筛孔被粉尘堵塞，纺纱线纷乱，印刷品深浅不均和制品污染；

静电事故的产生主要在于静电的产生和积累，而气流的流动，气流和管道、风口、过滤器等摩擦，***和衣服的摩擦，衣服之间的摩擦，工艺上的研磨，喷涂、射流、洗涤、搅拌、粘合和剥离等操作，所有选些都可能产生静电，在一般情况下，越是电导率小的非导体（绝缘体），由于电荷产生后不易流动，因此表现为越容易带电。近几年来，由于技术之创新发展，对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切，如超大型积体电路之研究制造，已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目，而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于优势地位。

静电问题所以在洁净室中特别严重，是因为不但在洁净室中具备前述产生静电的多种工艺因素，而且因为洁净室中的许多材料如塑料地面、墙面，尼龙、的确良等工作服都有很高的电阻率，都极易产生静电和集聚静电，在洁净室的静电灾害未被重视以前，这些材料料是被广泛采用的。5×30=22500m3/h的送风量(换气次数，是≥25次/h)。

2、光学微电子行业净化工程设计方案分析之水冷柜机 增压风柜 送风口与前种方案比较，这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积，水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内，增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。

优点：A.空气处理效果较好的，处理过后的空气在送风过程中被污染程度低。送风的温度、湿度控制效果可以达到较好的控制。主要在空气处理机组(增压风柜)里进行控制;B.布置灵活。自带冷源;C.大小厂房、新旧厂房都适用;D.维修频率较低;E.车间噪音低。***空气过滤器或亚***空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端，***空气过滤的安装方式应简便可靠，宜检漏和更换。

缺点：A.需要小面积的机房。需要有冷却塔 [1] 、冷却水泵的摆放位置;B.空调机组与空调处理机组要集中布置;C.造价较低。

特点：这种方案可以是一次回风也可以是二次回风，具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。

洁净厂房也称净化厂房或无尘厂房，是指有空气净化要求或已经装修了空气净化工程的用来生产、制造、加工工业厂房或制造、包装、生产场所，也可泛指无尘车间或无尘间、无尘房、无尘室等等。

洁净室厂房相对无尘车间、洁净室来说，其体积量通常比较大，有时通常是指净化工程在工业厂房的所有应用，洁净厂房是空气无尘净化工程中的一个应用很广泛的项目。

净化工程是一个应用行业非常广泛的基础性配套产业，在电子信息、半导体、光电子、精密制造、卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等众多行业均有应用，并根据行业的精密与无尘要求，等级差别也较大。

洁净室容量体积相对较大，故洁净厂房基本应用在上述净化应用行业中生产、储藏、检测、实验、化验等工序之中。