4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点

A、无尘车间洁净度:LCD制屏的简略流程为：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。在本设计里是指末端工艺的一些无尘车间，其净化洁净度一般为千级或万级或十万级。背光屏类无尘车间主要是这类产品的冲压车间、组装等无尘车间，其洁净度一般为万级或十万级。在一间没有任何障碍物的空房间，单向流用比前面提到的低得多的风速，就可以很快将污染物清除。

B、室内空气参数要求 ：(1)温湿度要求：温度一般为24 2℃，相对湿度为55 5%。(2)新风量大。由于这类车间内，人员比较多，可以根据以下数值应取下列的高值：非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜 空气量≥40m3/h。(3)送风量大。洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量，就300平方米的车间，吊顶高度为2.5米的，如果是万级，送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数，是≥25次/h);如果是十万级，送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数，是≥15次/h)。

3、依据气候条件选空调箱

关于空调箱的选择，应考虑所处的气候环境。如在冬季气温低、空气含尘量大的北方地区，则应在通用的空调机组上增设新风预热段，采用淋水式空气处理方式，使其既对空气洗尘又使其产生热温交换达到所要求的温、湿度。而在气候湿润，空气含尘浓度较低的南方地区，则冬季也无需对新风预热，对空气的过滤及温、湿度的调节则采用初效过滤，表冷面调节温湿度，也可加强温减湿工序，再经中效过滤和终端或亚过滤。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。空调箱配套风机一般建议采用变频风机，这不仅节能，还可灵活调节风量风压。

洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间，其建造和使用方式可大限度减少房间进入的、产生的和滞留的粒子。房间内的温度、湿度、压力等其他相关参数均按要求受控。

在中国，洁净技术的起步和奠基阶段是六十年代初至七十年代末。1965 年，由中国建筑科学研究院空气调节研究所和蚌埠绝缘材料厂等单位研制完成带波纹隔板的空气过滤器通过鉴定，标志了我国洁净技术开始正式起步。同时，一此电子技术、精密机械和工业相关的设计院，也在探索、研究洁净室的工程设计。(3)并装局部洁净室(CleanSpot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用。

合理布置空间面积

洁净车间进行合理布局首先要理顺工艺流程，尽量避免迂回往返。作业的平面空间应合理，要做到既有利于操作，又便于维修，闲置面积和空间尽量预留。这样的设置利于合理的分区，防止混杂事故。

还有一个问题应该引起我们的注意：洁净车间并不是说越大越好，面积和空间的大小关系着送风量的多少，决定着空调能耗的大小，这样会增加工程的***成本。但空间面积也不可太小，太小可能不便于操作、维修。所以，设计合理的空间面积应考虑到设备操作、维修的需要。其型式可分为二种：(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，灰随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。