4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点

A、无尘车间洁净度:LCD制屏的简略流程为：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。对于要红灯照明的地方，如电子行业的光刻车间，其照度一般为(25—501x)，用天然光时可允许更高的照度，因而对工作是有利的，所以今后洁净室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的，这也是为了节能而出现的一种动向。在本设计里是指末端工艺的一些无尘车间，其净化洁净度一般为千级或万级或十万级。背光屏类无尘车间主要是这类产品的冲压车间、组装等无尘车间，其洁净度一般为万级或十万级。

B、室内空气参数要求 ：(1)温湿度要求：温度一般为24 2℃，相对湿度为55 5%。从确保洁净室内相对湿度的精度而言，上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高，故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时一般不采用。(2)新风量大。由于这类车间内，人员比较多，可以根据以下数值应取下列的高值：非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜 空气量≥40m3/h。(3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量，就300平方米的车间，吊顶高度为2.5米的，如果是万级，送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数，是≥25次/h);如果是十万级，送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数，是≥15次/h)。

1965年建成的沈阳119厂和石家庄13所就是由三机部四院（现航空工业部第四设计院）和四机部第二设计院（现中国电子工程设计院）分别参照原苏联的妆化等级设计建设的。2、生物类：由能与甲醛反应的生物制剂制成，如尿素、大豆蛋白、氨基酸等。到七十年代末至八十年代末，这十年间，中国的洁净技术经历了一段阳光灿烂的发展阶段，许多标志性的重要成果，几乎都诞生在这个阶段，如标准、规范制定与国际交往方面；生物洁净室在方面陆续得到推广应用；在产品研制与开发方面达到八十年代国外的技术水平等等。九十年代初至今，是国内洁净技术与国际***接轨，走向规范化的时代。

提高设备水平

设备的材质、加工精度、密闭程度以及管理制度都与交叉污染有关。所以洁净车间除了合理布局外，提高设备的自动化水平和组成联动的生产线，以减少操作人员，降低人员的活动频率，是防止交叉污染的必要措施。

分设洁净车间空调净化系统

洁净室的空调净化系统应根据不同的洁净度等级分设。B、室内空气参数要求：(1)温湿度要求：温度一般为24 2℃，相对湿度为55 5%。对β-内酰胺类、避孕***、强毒微生物等的工作室，应设置空调净化系统，其排风口应安装过滤设备，以将这些药的污染降至低限度。对不同洁净度等级的洁净室，产生粉尘和***气体的洁净车间，被排介质毒性大的、，应单独设局部排风系统。洁净车间的排风口应有防倒灌装置。送风、回风和排风的启闭应有连锁装置。