复合式(Mixed Type)

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。乱流式缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。

(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为***适宜使用。***、食品业界及半导体业界均适用。实践过程中常常出现二次检测超标的现象二是是在不改变化学成分的基础上吸收甲醛，降低空气中的甲醛含量，但是这样的方式治标不治本，甲醛容易再次释放出来。

(3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

1965年建成的沈阳119厂和石家庄13所就是由三机部四院（现航空工业部第四设计院）和四机部第二设计院（现中国电子工程设计院）分别参照原苏联的妆化等级设计建设的。到七十年代末至八十年代末，这十年间，中国的洁净技术经历了一段阳光灿烂的发展阶段，许多标志性的重要成果，几乎都诞生在这个阶段，如标准、规范制定与国际交往方面；所以，送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角，曲率半径很小，气流在室内不可能以单一方向流动，将会彼此撞击，将有回流、旋涡产生。生物洁净室在***方面陆续得到推广应用；在产品研制与开发方面达到八十年代国外的技术水平等等。九十年代初至今，是国内洁净技术与国际***接轨，走向规范化的时代。

洁净厂房也称净化厂房或无尘厂房，是指有空气净化要求或已经装修了空气净化工程的用来生产、制造、加工工业厂房或制造、包装、生产场所，也可泛指无尘车间或无尘间、无尘房、无尘室等等。

洁净室厂房相对无尘车间、洁净室来说，其体积量通常比较大，有时通常是指净化工程在工业厂房的所有应用，洁净厂房是空气无尘净化工程中的一个应用很广泛的项目。

净化工程是一个应用行业非常广泛的基础性配套产业，在电子信息、半导体、光电子、精密制造、***卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等众多行业均有应用，并根据行业的精密与无尘要求，等级差别也较大。

洁净室容量体积相对较大，故洁净厂房基本应用在上述净化应用行业中生产、储藏、检测、实验、化验等工序之中。