2、光学微电子行业净化工程设计方案分析之水冷柜机 增压风柜 ***送风口与前种方案比较，工业无尘室，这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积，水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内，淮安无尘室，增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。

优点：A.空气处理效果较好的，处理过后的空气在送风过程中被污染程度低。送风的温度、湿度控制效果可以达到较好的控制。主要在空气处理机组(增压风柜)里进行控制;B.布置灵活。自带冷源;C.大小厂房、新旧厂房都适用;D.维修频率较低;E.车间噪音低。

缺点：A.需要小面积的机房。需要有冷却塔 [1] 、冷却水泵的摆放位置;B.空调机组与空调处理机组要集中布置;C.造价较低。

特点：这种方案可以是一次回风也可以是二次回风，具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。

这比用紊流来描述乱流洁净室更确切、更全。紊流主要决定于雷诺数，电子厂无尘室，也就是主要受流速的影响，但是如果采用一个***过滤器顶送的送风形式，则即使流速极低，也要产生上述各种结果，这就因为它是一个突变流和非均匀流。因此这种情况下不仅有流层之间因紊流流动而发生的掺混，而且还有全室范围内的大的回流、旋涡所发生的掺混。

作用

控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。此空间的设计施工过程即可称为净化工程。

化学光催化法

工作原理：空气通过光催化空气净化装置时，光触媒在光的照射下自身不起变化，却可以促进化学反应的物质空气中的***物质如甲醛等在光催化的作用下发生降解，生成***无害的物质，而空气中的***也被紫外光除掉，空气因此得到净化。缺点：广谱但需要空气流速较低，净化速度比较慢并且对***有一定的辐射，在欧美是被汰的净化方式。

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