4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点

A、无尘车间洁净度:LCD制屏的简略流程为：清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。在本设计里是指末端工艺的一些无尘车间，其净化洁净度一般为千级或万级或十万级。因此，在净化空调系统的空气处理上要采取相应的措施，例如：夏季要降温、去湿（因为夏季室外空气是高温、高湿的），冬季要加热加湿（因为冬季室外空气是寒冷干燥的，室内湿度过低会产生静电，静电对电子产品的生产是致命的）。背光屏类无尘车间主要是这类产品的冲压车间、组装等无尘车间，其洁净度一般为万级或十万级。

B、室内空气参数要求 ：(1)温湿度要求：温度一般为24 2℃，相对湿度为55 5%。(2)新风量大。由于这类车间内，人员比较多，可以根据以下数值应取下列的高值：非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜 空气量≥40m3/h。(3)送风量大。(2)洁净管道(CleanTube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量，就300平方米的车间，吊顶高度为2.5米的，如果是万级，送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数，是≥25次/h);如果是十万级，送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数，是≥15次/h)。

乱流洁净室

乱流洁净室的主要特点是从来流到出流（从送风口到回风口）之间气流的流通截面是变化的，洁净室截面比送风口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。所以，送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角，曲率半径很小，气流在室内不可能以单一方向流动，将会彼此撞击，将有回流、旋涡产生。这就决定乱流洁净室的流态实质是：突变流；非均匀流。但在一个操作间，机器以及机器周围走动的人员，会对气流形成障碍。

这比用紊流来描述乱流洁净室更确切、更全。紊流主要决定于雷诺数，也就是主要受流速的影响，但是如果采用一个***过滤器顶送的送风形式，则即使流速极低，也要产生上述各种结果，这就因为它是一个突变流和非均匀流。后来了解到刷A等级来计量噪声与噪声的语音干扰和烦恼程度更为台适，可以代替倍频带声压级作为评价标准的指标。因此这种情况下不仅有流层之间因紊流流动而发生的掺混，而且还有全室范围内的大的回流、旋涡所发生的掺混。

洁净室(Clean R。om）亦称为无尘室或清净室，通常称洁净室的建造工程为净化工程。净化工程是一个应用行业非常广泛的基础性配套产业，目前在电子信息、半导体、光电子、精密制造、***卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等众多行业均有应用。洁净室根据不同行业对精密程度与无尘要求，等级差别较大，***成本的差别也很大。随着电子元器件向微小化方向发展，液晶面板已经升级至第八代，行业需求非常巨大。毋庸置疑的是洁净室的建造成本是工厂总建造成本的重要决定因素之一（在造价中所占具体比例与所需洁净室的级别和面积有关），故对洁净室的建造成本进行分析具有一定的现实意义。