影响因素
影响洁净室的气流因素很多,如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等,芜湖净化工程,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素。
一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低。
洁净室内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将使涡流现象减少***低;组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
(1)自净时间:是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室,室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。 1,000级希望不超过20min(分钟) (可取15min计算) 10,000级希望不超过30min(分钟) (可取25min计算) 100,000级希望不超过40min(分钟) (可取30min计算)
(2)换气次数(按上述自净时间要求设计)1,000级 43.5—55.3次/小时 (规范:50次/小时) 10,000级 23.8—28.6次/小时 (规范:25次/小时) 100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范:15次/小时)
优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再jihuo,无尘车间净化工程,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
无主送风管和专用空调机房,净化工程价格,降低*** 气流在回风夹道和风机室内流动,空调机也装在回风夹道内,不需要专用空调机房,回风夹 道除了安装空调外,同时也可作检修和工艺通道。空调机送风的特点是送风压力底,冷风由 空调机送出直接进入风机室,除了冷风管自身的阻力外,没有其他阻力损失,特别是冷风管 的出口端,风机箱形成了一定的真空度,更有助于冷风管克服送风阻力。由于冷风管所受压 力很底, 所以冷风管可选用质量较轻成本较底的薄型塑料或金属软管。 整个空气循环系统除了少量起辅助作用的冷风管, 其他主风管及管阀件者可省略。 整个洁净室无主风管也无专用 空调机房,气流通道借助洁净室墙壁和围护壁板构成。空调机价格便宜,运行可靠,安装方 便,因此可以节省工程***和缩短建设周期。
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