在洁净室内静电

导致的事故有以下几方面；

1．静电电引起的静电的电力击打，引起人的不安全和恐惧感，并可造成二次伤害(例如人因受电力击打而摔倒，由摔倒又致伤)；

2．静电放电引起的放电电流，可导致诸如半导体元件等***和误动作，例如将50块P- MOS电路放在塑料袋内，摇晃数次后，与非门栅极严重击穿者计39块，失效率竞达78%，这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏；

3．静电放电产生的电磁波可导致电子仪器和装置的杂音和误动作；

4．静电放电的发光可导致照相肢片等感光***；

5．静电的力学现象可导致筛孔被粉尘堵塞，纺纱线纷乱，印刷品深浅不均和制品污染；

洁净室(Clean R。om）亦称为无尘室或清净室，通常称洁净室的建造工程为净化工程。净化工程是一个应用行业非常广泛的基础性配套产业，目前在电子信息、半导体、光电子、精密制造、***卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等众多行业均有应用。洁净室根据不同行业对精密程度与无尘要求，等级差别较大，***成本的差别也很大。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。毋庸置疑的是洁净室的建造成本是工厂总建造成本的重要决定因素之一（在造价中所占具体比例与所需洁净室的级别和面积有关），故对洁净室的建造成本进行分析具有一定的现实意义。

合理布置空间面积

洁净车间进行合理布局首先要理顺工艺流程，尽量避免迂回往返。作业的平面空间应合理，要做到既有利于操作，又便于维修，闲置面积和空间尽量预留。这样的设置利于合理的分区，防止混杂事故。

还有一个问题应该引起我们的注意：洁净车间并不是说越大越好，面积和空间的大小关系着送风量的多少，决定着空调能耗的大小，这样会增加工程的***成本。但空间面积也不可太小，太小可能不便于操作、维修。所以，设计合理的空间面积应考虑到设备操作、维修的需要。当空气中粉尘通过电场时，粉尘受到负离子的碰撞带上电荷，带上电荷后的粉尘同样受到静电场的作用，向阳极（集尘极）运动，到达阳极后释放电荷。