节能原则:无尘车间里存在大量可以节约能源的地方,例如暖气、通风和空调(HVAC)、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。 HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩,很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径,尽可能地压缩前期投入,而不顾后期运行费用。***率的设计和***率设备需要很大的前期投入。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本,会造成工厂的运行性能降低和能耗增加。 对已建成工厂的改建通常会陷入到毫无意义的经济漩涡当中。
层流***室不仅要求高度洁净的空气(进入***室的空气首先须经***过滤器净化),而且要求能控制气流的流通方向(即采用层流超净装置),使气流从洁净度高的***区域流向洁净度低的区域,并带走和排出气流中的尘埃颗粒(尘粒)和***;层流是一股细小、薄层的气流,南京净化工程,以均匀的流速向同一方向输送;净化气流的方向分为垂直层流式和水平层流式两种。
垂直层流式(Supply air ceiling for operating theatre)***过滤器装在***病床的正上方,气流垂直吹送,无尘净化工程,回风口设在墙面的两侧下部(但不宜采用四角或四侧回风),确保***台洁净度达标,一般多采用垂直层流式效果较好 层流***室是一个'正压'环境,其空气压力根据其不同区域(如***间、无菌准备间、刷手间周围干净区域等)洁净度不同要求而不同。
风速的控制
洁净室内的气流是左右洁净室性能的重要因素,一般洁净室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间,无尘车间净化工程,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可***此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以***适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济性效果。
另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果,均一气流之保持亦为一重要因素,均一气流若无法保持,厂房净化工程,表示风速有异,特别是在壁面,气流会延着壁面发生涡流作用,此时要实现高洁净度事实上很困难。
垂直层流式方向要保持均一气流必须:
(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;
(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,一般洁净室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
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