每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的1级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于1级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。

洁净室状态有以下三个：

空气洁净室：已经建造完成并可以投入使用的洁净室（设施）。它具备所有有关的服务和功能。但是，在设施内没有操作人员操作的设备。

静态洁净室：各种功能完备、设定安装妥当，可以按照设定使用或正在使用的洁净室（设施），但是设施内没有操作人员。

动态洁净室：处于正常使用的洁净室，服务功能完善，有设备和人员；如果需要，净化工程设计，可从事正常的工作。

层流***室的特点：

（1）***室低***数及低ma醉气体浓度。

（2）可供舒适的气流（室内温度可在15-25℃，湿度可在50-65%之间调节）。

（3）***室正压气流（ 23-25Pa）防止外来污染的进入。

（4）***室内空气清新、爽洁，工作环境舒适。

（5）层流***室，无尘净化工程，一般情况下无需使用物理或化学方法进行消毒，既节省劳动，又免除了不良气影响。

（6）院内gan染率（尤其是***和shao伤gan染率）大大降低。

（7）噪音：因层流设备的空气处理机（送风、回风等装置）及空调系统运行所发出的声音，合肥净化工程，成为层流***室的一种噪音，也是层流***室的一大缺点。所幸的是***室内音量为42dB，可无不适；但***室外音量≥65dB，形成噪音干扰。'心欲静而音不止'，长期处之，尚有一个忍受和适应的过程。

无主送风管和专用空调机房，降低*** 气流在回风夹道和风机室内流动，空调机也装在回风夹道内，不需要专用空调机房，回风夹 道除了安装空调外，***室净化工程，同时也可作检修和工艺通道。空调机送风的特点是送风压力底，冷风由 空调机送出直接进入风机室，除了冷风管自身的阻力外，没有其他阻力损失，特别是冷风管 的出口端，风机箱形成了一定的真空度，更有助于冷风管克服送风阻力。由于冷风管所受压 力很底， 所以冷风管可选用质量较轻成本较底的薄型塑料或金属软管。 整个空气循环系统除了少量起辅助作用的冷风管， 其他主风管及管阀件者可省略。 整个洁净室无主风管也无专用 空调机房，气流通道借助洁净室墙壁和围护壁板构成。空调机价格便宜，运行可靠，安装方 便，因此可以节省工程***和缩短建设周期。

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