空气过滤系统：

其他净化设备如初级***过滤器：如臭氧，六安净化工程，紫外线灯，风淋室（包括货物淋浴器），车间净化工程，转移窗，超净工作台，互联锁等净化辅助设备。

清洁车间工程可分为空气净化和水净化。

空气净化是在一定空间内去除空气中的微粒，***空气，***和其他污染物，以及室内温度，清洁度，压力，气流速度和气流。

分布，噪声振动和照明，静态控制工程学科在一定范围内的要求。无论外部空气条件如何变化，净化项目专门设计的房间都能保持原始设置所需的清洁度，温度，湿度和压力。

2、光学微电子行业净化工程设计方案分析之水冷柜机 增压风柜 ***送风口与前种方案比较，这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积，水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内，增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。

优点：A.空气处理效果较好的，处理过后的空气在送风过程中被污染程度低。送风的温度、湿度控制效果可以达到较好的控制。主要在空气处理机组(增压风柜)里进行控制;B.布置灵活。自带冷源;C.大小厂房、新旧厂房都适用;D.维修频率较低;E.车间噪音低。

缺点：A.需要小面积的机房。需要有冷却塔 [1] 、冷却水泵的摆放位置;B.空调机组与空调处理机组要集中布置;C.造价较低。

特点：这种方案可以是一次回风也可以是二次回风，***室净化工程，具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。

随着中国经济始终保持稳定的高速增长，国际***持续注入，一批跨国集团在中国陆续兴建了众多的微电子工厂因此国内技术与研究人员有更多机会直接接触国外高等级洁净室的设计理念，了解世界的***设备和装置、管理与维护等等。从这方面来看，无尘净化工程，的确从各个角度与国际日益接轨。非单向流洁净室广泛用于电子工业、生物***工业和各种工业洁净室，这类洁净室的进化空调系统的送回风通常采用顶送侧回、顶送顶回等方式，在洁净生产区的技术夹层或技术夹道内布置送回风管、排风管和和各种公用动力管线等。



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