洁净室的发展与现代工业、尖i端技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如大规模集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%,64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
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实现洁净度要求的通风措施编辑洁净室要达到洁净等级,必须有综合措施,其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言,主要有以下几项具体措施 [1] :(1) 对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此,必须选用或亚过滤器(洁净级别低时)作为终端过滤器,对进入洁净室的空气,进行后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命,必须使空气先经中效过滤器进行过滤。(2) 根据洁净室的等级,合理选择洁净室的气流分布流型,在工作区应避免涡流区;尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区;气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。(3) 有足够的风量,既为了稀释空气的含尘浓度,又保证有稳定的气流流型。(4)不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。
一般情况下,净化空调系统的能耗比一般空调系统的能耗大的多。其原因是两者之间的负荷特点不同。就洁净室,尤其是半导体工业洁净室而言,其负荷特点是:由于排风量大造成新风量大,故新风处理所需冷量消耗大;送风量大,输送动力消耗大,风机管道温升高;生产设备的发热量大,消耗冷量大。这三项负荷之和一般占总负荷的70%~95%。因此,净化空调系统节能措施应从减少新风量(减少排风量);控制送风量(合理确定换气次数);充分利用回风量;选择低阻力率的空调和净化设备和可变风量的风机等入手
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无尘净化车间地面应用平整,无缝隙,耐磨耐腐蚀,不易集聚静电的,便于清理的整体地面。
??1.设计中可以采用现浇水磨石地面,所用石子直径应在6-15mm之间。
??2.其中分隔条必须采用铜条分隔,不得采用玻璃条。
??3.现多采用环氧自流坪地面,它是一种树脂类复合材料地坪。
??4.它的特点是无溶剂、***无味、无接缝、自流找平。
??5.可以达到镜面装饰效果、无缝连接、耐油类及酸、碱、盐化学溶剂。具有防静电,发尘小,耐磨耐冲击等特点但是造价高。
??6.大多采用于要求高洁净度、外表美观、无尘、无菌的电子、血液制品等行业生产车间地面。
??7.环氧自流坪地面的使用寿命厚度1mm以上一般可使用6年以上。
??8.以上地坪地面垫层下应铺设防潮层,混凝土分仓线不宜通过洁净区。