洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，洁净室非标水池定制价格，因为人出汗以后，洁净室非标水池定制厂家，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，洁净室非标水池定制公司，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高，粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产***i佳湿度范围为35—45%。

洁净室中洁净度是指空气环境中空气所含尘埃量多少的程度。在一般的情况下，是指单位体积的空气中所含大于等于某一粒径粒子的数量。含尘量高则洁净度低，含尘量低则洁净度高。那么净化车间对于洁净度有什么要求呢？

净化车间洁净室要获得良好的洁净效果，不仅要着重采取合理的空调净化措施，而且也要求工艺、建筑及其他***采取相应的措施:不仅仅要有合理的设计，而且还要精心的符合规范的施工安装，以及正确的使用洁净室和科学的维护管理。实际上，不同***之间很难做到理想地配合，湖州洁净室非标水池定制，而且设计者很难把握施工安装质量以及使用和管理情况，尤其后者。就洁净室净化措施而言，许多设计者，或者还有施工方，往往对其必要条件未予足够重视，造成洁净效果不理想。

洁净度等级标准ISO14644根据悬浮粒子浓度这个指标来划分洁净室及相关受控环境中空气洁净度的等级，并且仅考虑粒径限制（低限）在0.1μm~5.0μm范围内呈累计分布的粒子群。

根据粒子径，可以划分为常规粒子（0.1μm~5.0μm），超微粒子（lt;0.1μm）和宏粒子（＞5.0μm）

无尘车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确定，在满足加工工艺的条件下，首1选应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高，工艺对温湿度的要求也越来越高，必须达到一定的温湿度等级。然而对于大部分洁净空间，为了防止外界污染***，需要保持内部的压力（静压）高于外部的压力（静压）。压力差的维持一般应符合以下原则：

1.洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力。

2.相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间。

3.洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

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