净化工程——洁净室中的温湿度控制

洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。P#iyQ9yYu5s_A2、洁净室内的计算温、温度、应符合下列规定：（1）满足生产工艺要求（2）生产工艺无温、湿度要求时，洁净室温度为20～26度，温度70度。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

净化工程——洁净室

洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准，目的在于保障操作正常进行，满足必要的谈话联系及安全舒适的工作环境。因此衡量洁净室的噪声主要指标是：

1．烦恼的效应

由于噪声，使人感到不安宁而产生烦恼情绪，一般分为极安静、很安静、较安静、稍嫌吵闹，比较吵闹和极吵闹7个烦恼等级。凡反应水平属于很吵闹和极吵闹者，即为高烦恼，高烦恼人数在总人数中的百分比即为高烦恼率。

净化洁净工程

送风量、换气次数

器械净化工程-无菌洁净室工程设计阶段对送风量的确定，首先要满足相应洁净度级别的换气次数要求，同时还要通过热、湿负荷校核来进一步确定风量，在此基础上对gao效过滤器进行选用。器械净化车间食品厂净化车间1、ren流食品工业对人员、物料的动线有明确的规定，不可交叉流动，物料流动需设置专用的物料传递口或传递门。过滤器的处理风量应小于或等于额定风量，设置在同一洁净区内的gao效 ( 亚gao效、超gao效 ) 空气过滤器的阻力、效率宜接近。

通常洁净室的送风量，应取以下 3 项中的大值 ：为保证空气洁净度等级的送风量 ；根据热、湿负荷计算确定的送风量 ；向洁净室nei供给的新鲜空气量。随着电子元器件向微小化方向发展，液晶面板已经升级至第八代，行业需求非常巨大。而新鲜空气量应取下列 2 项中的大值 ：补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和 ；保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于 40m3。