




净化工程是空气洁净技术创造洁净微环境的重要、具代表性的措施,洁净室原理是设计、运行和维护好洁净室的理论基础。净化工程风量、换气次数、静压差在洁净室体积确定的情况下,换气次数由该室的送风量决定,而静压差取决于房间的送风量与回风量、排风量的差值。指在一定空间范围内,将空气中的微粒子、xi菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。
升旭净化工程公司所特别设计的房间,不论外在空气前提如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等机能。此空间的设计施工过程即可称为净化工程。
装饰净化工程时要注意以下几点:
1.承担车间净化工程安装的企业,应具备相应的工程施工安装的资质,符合相应的质量管理体系。
2.承担车间净化工程系统的施工企业,应按净化车间工程的整体施工程序、计划进度安排施工。
3.净化工程施工安装以及风管及附件的制作、设备和管道的安装、检查验收等应符合有关规定。
4.不同的净化设备的施工方案和程序也不同,必须严格按设计图样的各项要求进行。
5.施工过程中所使用的材料、附件等,必须按规范和设计图样的有关规定和要求进行验收。
净化工程——洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。一)电荷等量的均匀的电中性状态,而使电荷过剩,物体呈带电状态,由于这些电荷平时是不流动的,故称静电。
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