




无尘洁净室的气流速度/换气次数,一直是洁净室设计中受到关注的问题,随着洁净室污染源的控制效果增加及末级过滤器效率的提高等,对有关规范、导则等提 出的推荐或参考值是否偏于保守,已有不少讨论;FFU在应用中人们担心的噪音、损坏维修等问题已在实践中得到解决,随着FFU的不断改进,对是否采用 FFU回风系统也是个热点:悬浮分子污染(AMC)的控制在微电子及IC工业中已日益提到日程上来,受到关注。以下对这些问题的情况分别作归纳和分析。
无尘洁净室内一定洁净度下气流速度的确定,随洁净室用途等具体情况而异,净化 彩钢板,它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响。



净化工程——洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,彩钢板,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,净化彩钢板安装,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。

净化工程设计需要知道一系列的参数,这些都是涉及报价必不可少的,提前了解有利于缩短谈判时间,减少不必要的麻烦。
准备工作如下:1.了解车间人员数量,车间面具大小 、层高、梁高、楼层。 2.看车间是什么行业、什么产品,有无法热设备,夹芯彩钢板,发热设备的排风量是多大。 3.装修什么级别(不了解可以问净化工程装修公司)。4.有图纸,这样可以更快的报价,若无图纸,需要净化工程公司***量房。
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