净化工程乱流式

空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室，夹芯彩钢板，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。所谓乱流洁净室，一般包括以下各种送风形式（1）gao效过滤器顶送（有扩散板和无扩散板）（2）流线型散流器顶送（3）局部孔板顶送（4) 侧送。升旭净化工程公司的此型式合用于洁净室等级1，000-100，000级。 层流式，层流式空气气流运动成一平均之直线型，空气由笼盖率之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风。

净化工程——洁净室

单向流洁净室一般有两种类型，即水平流和垂直流。在水平流系统中，净化夹芯彩钢板，气流是从一面墙流向另一面墙。在垂直流系统中，气流是从吊顶流向地面。对要求洁净室的悬浮粒子浓度或微生物浓度更低的场合，就使用单向气流。以前称这类洁净室为“层流”洁净室。单向流和层流的名称均说明了其气流的状况：气流以一个方向流动（或是垂直的或是水平的），并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分钟至100英尺/分钟）的均速流过整个空间。图1是典型的垂直流洁净室的剖面图。从图中可以看出，由满布洁净室吊顶的过滤器向室内送风。气流有如一个空气活塞，向下流经室内，带走污染物，湖州彩钢板，然后从地面排出。又在与外部的一些新鲜空气混合后，再循环至过滤器。

净化工程——无尘车间

所谓的无尘车间是一个人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，保温彩钢板，随着集成电路技术的快速成长，也增加了对制造环境(无尘车间)洁静度的需求，在工业上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。 由于奈米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断的增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上，可能将其腐蚀，所以无尘车间为集成电路制造不可或缺的要素。

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