如何使洁净室更节能在洁净室中有许多节能的地方，如供暖，通风和空调（HVAC），过程冷却，压缩空气和一些其他设施。 HVAC系统消耗的电量超过整个晶圆制造设施的一半。大量浪费的电力和HVAC容量过剩的原因主要是由于设备的设计和建造的捷径，尽可能地压缩初始***，而不管后期的运营成本。***的设计和***的设备需要大量的前期***。为了确认清洁空调系统对洁净室（区域）的温度和相对湿度的控制能力，应在清洁空调系统连续稳定运行后进行测试。所谓的快捷方式和“节省大量废物的小地方”的成本降低将导致工厂性能降低和能源消耗增加。

洁净厂房位置选择和总平面布置

　洁净厂房位置的选择，应根据下列要求并经技术经济方案比较后确定：

　　　　一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；

　　　　二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和***气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。如不能远离严重空气污染源时，则应位于其***为大商务频率风向上风侧，或全年***为小的频率风向下风侧；

三、应布置在厂区内环境清洁、人货流不穿越或少穿越的地段。

标准洁净厂房设计规范

洁净厂房内宜少设隔间，但在下列情况下可予以分隔。

一、按生产的火灾***性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间，或有防火分隔要求者。

二、生产过程中产生较强噪声或散发较多热量、尘粒和***气体，且不能采取局部措施加以控制者。

三、生产联系少，并经常不同时使用的两个生产车间之间。

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