如何使洁净室更节能在洁净室中有许多节能的地方，如供暖，通风和空调（HVAC），过程冷却，电子净化工程安装，压缩空气和一些其他设施。 HVAC系统消耗的电量超过整个晶圆制造设施的一半。大量浪费的电力和HVAC容量过剩的原因主要是由于设备的设计和建造的捷径，尽可能地压缩初始***，电子净化工程厂，而不管后期的运营成本。***的设计和***的设备需要大量的前期***。所谓的快捷方式和“节省大量废物的小地方”的成本降低将导致工厂性能降低和能源消耗增加。

洁净车间设计须知：

　一、给排水和送风装置及电源设计：根据所要运行的车间，提供必须的给排水装置，送风装置和电源，这些装置和所涉及的设备必须易于使用和设计， 同时不得有碍于空气净化系统。

　二、材料选用：作为洁净室顶棚，墙面和地板的材料必须是不宜破1裂，不易沾颗粒，电子净化工程，以及几乎不起尘的材料，另外根据房间不同的工作条件，还必须考虑材料的化学业性能是否稳定。

无尘车间安全守则

1.一般守则：

a、在无尘车间工作时必须确切地了解每一个工作站可能发生的***及应采取之安全防护工作。

b、善加使用一些防护设备如眼镜、手套等等。

c、在工作的区域应保持清洁。

d、所有***应详加标示。

e、使用***后双手需洗净方能饮食或抽烟。

f、处理废弃物时应遵守有关废弃物处理之规定。

g、熟悉紧急应变的步骤及工作区域之紧急应变设备（如灭火器，逃生呼吸器等）之放置位置。

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