除了人员进出洁净室须予以规范管理外，原材料及设备进出也必须经过洁净程序，方不至于影响洁净室洁净度。其进洁净室流程如表8-4所示。至于搬出则反向而行，但不须经洗涤程序。原材料及设备进出用洁净室为洁净室等级1000或10，000级房间，工作人员于其室内清洁设备或原材料时必须穿着清洁衣服，所使用擦拭纸为无尘纸或不会脱落纤毛无尘布，厂房无尘室设备***怎么收费，清洁剂除了使用超纯水之外，并加入3～5%浓度的IPA或***，江苏无尘室设备***怎么收费，以增强去污能力，工厂无尘室设备***怎么收费，由于IPA具挥发性故此房间排气效果须特别考虑。搬迁设备时为免***地板支架及地板表面，必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板，作为辅助。

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，工厂无尘室设备***怎么收费，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。

无尘室内防止微粒子污染的基本原则：

　 不携入

　　在无尘室内不携入微粒子的方法有：

　　作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理；

　　进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。

　　通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘室。

　　机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室***后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。

　　无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。

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