复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。⑴洁净隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。

无尘车间地址的选择应符合有利生产、方便生活、节省***和经营费用的原则。厂址应设在自然环境和水质较好，大气含尘浓度较低，地形、地物、地貌造成的小气候有利于生产、节能的区域，应远离大量散发粉尘、烟雾、***气体和微生物的区域，如机场、铁路、码头、交通要道等，并在污染源和全年主导风向的上风侧面，工厂无尘室设备移位公司哪家好，且有一定的防护距离。无尘车间与交通主干道间距宜50米以上。

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每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。

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