洁净室（无尘室）吸尘器的主要组成：

大扒头：当清扫地面面积较大时，工厂无尘室设备移位价格，使用大扒头可有效快速的提高工作效率。

小扒头：清扫面积相对较小时，小扒头可方便快捷的扫除工作台底部的灰尘和颗粒。

圆毛刷：工作范围主要集中在工作台台面，清楚工作台面细微的小颗粒

伸缩杆：增大清扫范围领域。

软管：机器正常工作时，吸收的小颗粒，灰尘，杂物，经过吸口有软管传递到第1过滤系统。

集尘袋：洁净室吸尘器的第1过滤系统，也是为重要的环节，收集人眼能分辨的小颗粒，对保护马达和高效过滤器有重要作用。

电源开关：控制吸尘器的启动和关闭。

高效过滤器：高效过滤器是吸尘器的第四大过滤系统，也是最后一个环节，高效过滤器能过滤0.012um的小颗粒，过滤之后的空气达到100级以上。

影响无尘室的气流因素很多，如制程设备、人员、无尘室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部分的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。

无尘室中不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。无尘室主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。

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