无尘室内防止微粒子污染的基本原则:
不携入
在无尘室内不携入微粒子的方法有:
作业员进入无尘室前,机台、零件携入前应进行清洁处理;
进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。
通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后,才能进入无尘室。
机器及材料带进无尘室前,应尽可能在密封状态下带进无尘室前室***后用超纯水擦拭,经风淋室吹淋后才进入无尘室。
无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。
洁净室吸尘器是无尘厂房、车间专用的强力真空专用吸尘器,可迅速、便捷、***地完成清洁工作。特点:超高过滤效果,可有效的除去对呼吸气管造成***的***粉尘,减少呼吸***的发生。当你使用专用吸尘器时,可以减少您清洁厂房的次数,因为它不会二次扩散灰尘,并可净化室内空气。有完备的各类吸嘴,任何角落皆可轻松清洁干净。较强的吸力可吸除更深层的粉尘。设计新颖轻巧,符合***工学,操作时不会腰酸背痛,减少***不适。专用吸尘器可专门针对防尘爆及***粉尘,如石棉,铅等物质,美国太空总署特别使用专用专用吸尘器清除货仓内的微细粉尘。
无尘室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,厂房无尘室设备***价格,此空间我们称之为无尘室。
每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
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