嘉定区无尘室设备***作业方案-卓宇泰
作者:卓宇泰2020/2/13 20:45:32

无尘室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,嘉定区无尘室设备***作业方案,此空间我们称之为无尘室。

每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。


(1)FFU用于老建筑物改造成洁净室时,其综合经济性一般往往可取。

(2)洁净度要求严的洁净室,末级过滤器满布率100%时,对大的系统采用FFU,工厂无尘室设备***作业方案,当前还是不经济的;对小系统有意义作具体比较。

(3)对洁净度要求不甚严的洁净室,末级过滤器满布率≤40%时对大系统综合经济性往往相差不多,但对IC工厂而言FFU系统的灵活性是重要的,因此当前IC工厂对过滤器满布率≤40%时,厂房无尘室设备***作业方案,采用FFU系统已经普遍。


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简易无尘室是快速方便建立的一座简易洁净室,简易无尘室具备多种洁净等级及空间搭配可以根据使用需求设计制作,因此其简便运用弹性大安装容易且施工期短以及可移性为其主要特点,简易无尘室同时可针对在一般等级的洁净室中局部地区需要高洁净度的地方做局部增设以降低成本。


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