层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用，一般其无尘室等级为Class 1~100。

其型式可分为二种：

⑴水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，灰尘随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。

优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。

⑵垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。

优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。

缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。

并装局部无尘室（Clean Spot）：将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净管道（CleanTube）：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作台：等级Class 1~100级。洁净工作棚：为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用***之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。

无尘室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。无尘室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而无尘室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。辅助设施必须因地制宜,按实际需要配套,缺一都会影响厂区环境卫生,影响生产正常进行。

洁净室用鞋要合脚且穿起来舒适为基本条件，容易洗涤，底则采用塑胶底，布质部分则采用与洁净衣相同材质即可，鞋子穿着时洁净衣脚跟部分应完全塞入紧密包着。手套材料除为与洁净衣相同的布料外尚有薄橡胶或乙烯树脂（Vinyl），在使用过程中若有不舒适感或妨害手指脂触感者则停止使用，手套表面有粉质时须去除或停用，原则上以使用无粉之Vinyl手套为佳。（清洁急救网合作工厂伙伴为清洁同行提供无尘车间实地演示）无尘衣、鞋、帽子等须由专人管理，并定期做清洗，清洗须在洁净室内进行，并以纯水配合清洁溶剂，并经约0.2μm过滤器为之，一般洗涤周期视清洁度等级而定，在高洁净区为2～3天，其他区域则为5天～1星期，洗涤完毕干燥后应立即密封。洗涤衣置放场所须为洁净室，备用品或新品存放柜内，正使用者则吊挂衣架上，以为方便取用。另外若系统停止运转再重启，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。